SK하이닉스·삼성전자, 반도체 공정 온실가스 감축 나서

[아이뉴스24 윤선훈 기자] SK하이닉스와 삼성전자가 반도체 공정 과정에서의 온실가스 배출량 줄이기에 나서고 있다. 전세계적인 온실가스 감축 움직임에 발맞추려는 것으로 보인다.

반도체 산업은 온실가스를 많이 배출하는 산업 중 하나다. 한국에너지공단이 지난 4월 발표한 '2017년 산업부문 온실가스 배출량 조사보고서(대상년도 2016년)'에 따르면 반도체제조업은 총 84개 제조업 부문 중 석유정제품제조업, 기초화학물질제조업, 시멘트제조업, 차철강제조업 등에 이어 7번째로 온실가스를 많이 배출했다.

반도체 제조 공정 중에는 과불화탄소(PFCs), 이산화질소(N2O), 육불화황(SF6) 등의 온실가스가 배출된다. 국내 반도체 제조업체들은 지속적으로 온실가스 배출 감소를 위해 다양한 조치를 취해왔고, 올해 들어서도 이어지고 있다.

2일 '2018 SK하이닉스 지속가능경영보고서'에 따르면 SK하이닉스는 올해 150만톤의 온실가스 감축이 목표다. 올해 안으로 반도체 생산장비 후단에 있는 1차 스크러버의 PFC 처리 효율을 85%에서 95%로 늘리고, N2O 가스의 처리 효율을 10% 높이기로 했다. PFC와 N2O 모두 1차 스크러버로 걸러지기 때문에 설비 가동 효율화 등을 통해 온실가스의 원료가 되는 성분들을 줄이겠다는 방침이다.

SK하이닉스는 폐열회수시스템을 통한 온실가스 감축도 올해부터 본격적으로 시도한다는 방침이다. 폐열회수시스템은 SK하이닉스가 온실가스를 줄이기 위해 새롭게 강구한 방식으로, 반도체 공정 과정에서 발생한 열에너지를 재활용함으로서 버려지는 열에너지를 줄이고 온실가스도 저감한다. SK하이닉스 관계자는 "아직 저감 수치가 유의미한 정도는 아니다"라면서도 "향후 지속적인 연구개발을 통해 감축 규모를 키워 나갈 것"이라고 말했다.

SK하이닉스는 이미 지난 2014년 BAU(배출전망치) 대비 온실가스 20% 감축을 2025년까지 시행하기로 하면서 온실가스 저감에 적극적으로 나서고 있다. 지난해에도 SK하이닉스는 61만톤의 온실가스를 감축해 당초 목표를 초과 달성했다.

지속적인 노력을 인정받아 SK하이닉스는 지난 2016년 탄소정보 공개 프로젝트(CDP) 한국위원회가 선정한 '탄소경영 아너스 클럽' 명예의 전당 플래티넘 클럽에 진입했다. CDP는 기후변화 대응과 관련해 각 기업들의 온실가스 배출량에 대한 분석·평가 보고서를 매년 발행하는데, SK하이닉스는 2013년 CDP가 선정한 명예의 전당에 헌액됐고 이후에도 지속적으로 자격을 유지하고 있다.

SK하이닉스 관계자는 "올해 메모리반도체 생산량이 지난해에 비해 상당히 늘어날 것으로 보인다"며 "생산량이 늘어나는 만큼 온실가스 저감량도 자연히 늘어나게 되며, 올해도 충분히 목표 저감량을 달성할 것"이라고 강조했다.

삼성전자 역시 온실가스 배출 감소에 적극 나서고 있다. 삼성전자는 오는 2020년까지 사업장의 온실가스 배출량을 2008년 대비 70% 수준으로 줄이는 장기 계획을 세웠다. 그 일환으로 반도체 공정에서 오염물질 배출의 주요 원인이 되는 FC가스 사용을 줄이고자 많은 노력을 기울였다.

먼저 삼성전자는 친환경 대체 물질을 활용했다. 반도체 증착 공정 중 웨이퍼 표면 세정에 주로 쓰이는 사불화탄소(CF4)를 삼불화질소(NF3)로 대체하는 공정 기술을 개발했다. 사불화탄소는 과불화탄소의 일종인데 이를 전혀 다른 물질로 대체했다. 그 결과 온실가스 사용량을 기존 대비 4% 선까지 낮추는 데 성공했다. 여기에 FC가스 처리 설비 등 대기오염 방지 설비 기술을 도입하고, 이를 꾸준히 개선하면서 사업장에서 온실가스를 처리하는 양도 늘렸다.

올해 삼성전자의 지속가능경영보고서를 보면 2017년 온실가스 배출량은 삼성전자가 당초 세운 배출 목표량보다 4.2% 적다. 배출량 자체는 전년 대비 15% 늘었지만, 지난해 7월 평택에 단일 라인 기준 세계 최대 규모의 반도체 생산라인이 양산에 돌입한 것 등을 감안하면 내부 목표를 달성했다는 것이 삼성전자 측의 설명이다.

삼성전자는 또 오는 2020년까지 약 3.1GW(기가와트)급의 태양광 발전설비에서 생산되는 전력만큼을 재생에너지로 충당하기로 했다. 이를 위해 반도체 사업장이 있는 평택·화성사업장에 각각 2019년, 2020년 2만1천㎡ 규모의 재생에너지 발전 설비를 설치한다. 한국에너지공단의 보고서에 따르면 반도체제조업은 전력 분야에서의 온실가스 배출량 비중이 전체의 90%가 넘는데, 재생에너지를 전력원으로 쓴다면 온실가스 감축에도 기여할 것으로 보인다.

삼성전자 관계자는 "그간 반도체 생산 설비를 온실가스 절감에 보다 좋은 고효율 설비로 교체해 왔고, 설비 운영도 제품 생산 기간 등에 맞춰 최대한 효율적으로 하고자 했다"며 "내부적으로 매년 목표량을 정해, 반도체뿐만 아니라 삼성전자 전체적으로 온실가스 배출을 최대한 줄이기 위해 움직이고 있다"고 말했다.